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电子级混合气
发布时间:2024-05-13 03:28:31
品名 | 浓度 | 平衡 | 压力 | 升数 |
硅烷混合气体 | 0.5-50% | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 |
乙磷烷混合气体 | 5ppm-23% | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 |
硼烷混合气体 | 5ppm-10% | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 |
砷烷混合气体 | 5ppm-5% | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 |
硒化氢混合气体 | 10ppm-5% | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 |
乙硅烷混合气体 | 5ppm-2% | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 |
错烷混合气体 | 5ppm-0.5% | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
氟氨混合气体 | 5-20% | Ar、N2、He | 5-12 | 4-47 |
电子混合气体是工程上常用的工质，指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。
由几种气体组成的混合物，是工程上常用的工质。
在电子混合气体中，如需配制特定比例的混合气体，需要使用高纯度的气体，并按照特定的比例进行混合。
例如，激光混合气体的配制需要使用高纯度的一氧化碳、二氧化碳、氢气、氮气和氦气等气体，并按用户特定的比例要求配制而成。
此外，在配制电子混合气体时，需要注意安全问题。例如，某些气体可能存在危险性，需要采取特定的安全措施进行操作。
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